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隨著半導體產業的蓬勃發展，特氣設備越來越多的應用于IC芯片生產、鍍層、實驗室科研等項目中。很多用戶在進行特氣設備的規劃時候，受限于氣房空間、位置、需求等多方面要求而不能合理規劃布局，遇到了很多問題，為日后的產品使用增加了風險和擴充難度。特種設備是指涉及生命安全、危險性較大的鍋爐、壓力容器（含氣瓶，下同）、壓力管道、電梯、起重機械、客運索道、大型游樂設施和場（廠）內專用機動車輛。其中，特氣設備不僅涉及生命安全，其對環境、運行穩定性等要求都非常高。本文就絕大多數用戶遇到的難題，結合規范做以較為標準化的布置建議。

特氣設備：

特種設備是指涉及生命安全、危險性較大的鍋爐、壓力容器(含氣瓶)、壓力管道、電梯、起重機械、客運索道、大型游樂設施和場(廠)內專用機動車輛這八大類設備。為保障特種設備的安全運行，國家對各類特種設備，從生產、使用、檢驗檢測三個環節都有嚴格規定，實行的是全過程的監督。據《2013-2017年中國特種設備檢驗檢測行業市場前瞻與投資戰略規劃分析報告》統計，截至2011年底，全國特種設備綜合性檢驗機構已達到545家，包括質檢部門所屬檢驗機構、行業檢驗機構及企業自檢機構，另外還有型式試驗機構、無損檢測機構、氣瓶檢驗機構等

特氣設備屬于特種設備的一大類，根據用戶的實際用氣種類和需求可能包含有：

GC 特氣氣瓶柜

GR 大宗or普通氣瓶架

Local Scrubber 本地式廢氣處理柜（電加熱+水洗復合型 可定制單功能）

VMB、VMP等各類氣體分配設備

GP項目典型氣瓶間

特氣系統，尤其是集中供氣系統引入國內的時間并不長，相應的設備、施工方法、經驗多是從歐美等發達國家延伸而來。我們可以參考美國ASTM給出的相應標準，目前國內標準也在逐步完善當中。隨著半導體行業如火如荼的發展，越來越多的特氣設備也引入我們自己的生產線中，在多設備引入時建議不相容GR應布置在不同房間里，當由于條件所限布置在同一房間時，GR之間的距離應大于6M。同時具有可燃性和毒性的氣體設備應該放置在可燃性氣體間。GR、GC、Scrubber等設備宜靠墻布置，具有相同性質的設備應該布置在一起。特種氣體房間內的中間通道寬度不得小于2M。GC與墻體之間的距離宜大于0.1M，GC之間距離宜大于0.1M。各類設備布置應該預留維修和運轉空間。長管拖車、ISO標準集裝瓶組等大型設備宜放置在室外空曠平地。

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