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GC特氣柜（Gas Cabinet）和GR特氣架（Gas Rack）的功能設計

特氣柜Gas Cabinet是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統，按類別可分為：全自動、半自動和手動操作。基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。

全自動氣柜通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。下面由蓋斯帕克為大家簡單介紹一下GC特氣柜（Gas Cabinet）和GR特氣架（Gas Rack）的功能設計。

特氣柜/架，VMB/VMP簡介

GC—Gas Cabinet 氣瓶柜(用于危害性氣體) GR—Gas Rack 氣瓶架(用于危害性氣體)

VMB—Valve Manifold Box 閥門箱(用于危害性氣體) VMP—Valve Manifold Panel 閥門盤(用于危害性氣體) 特氣柜和VMB主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，而氣瓶架和VMP一般用于非危害性氣體；主要區別在于，特氣柜和VMB都要有一個外殼上有抽風管，當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。

Gas Cabinet / Gas Rack 特氣柜/氣瓶架/特氣盤面 : 功能設計

可分為單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內的鋼瓶數設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

（1）單鋼的設計通常使用于研究機構或實驗室等。工藝制程尚未有量產，氣體使用量小，現場

可隨時協調停機進行鋼瓶之更換，其優點節省空間、成本低、但需透過日常之管理與協調以免中斷工藝制程造成損失。

（2）雙鋼與三鋼常用于量產工廠，工藝制程不允許停機情況，當一支鋼瓶使用完后，另一支備

用鋼瓶（stand by）會自動轉為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務端供應，當purge用的PN2統一由廠務端來供應時，所有特殊氣體供應系統不管是否相容，全部連接到同一個供應源，會有較高的風險值；萬一中央供應系統的PN2中斷，警報系統又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge，此時極有可能發生爆炸的事件發生，相同性質可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應變方式。

（3）三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應最優先選擇。

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